可以看出，不同表面光洁度对渗氮后的硬度、深度均无影响，而仅仅影响化合物层的厚度。光洁度高的，化合物层较厚。X光衍射分析也证实了这一点，光洁度高的其ε相的衍射峰比光洁度低的明显增高。
由于溅射作用，离子渗氮后零件表面光洁度稍有下降。长时间离子渗氮后用手摸有不光滑的感觉。38CrMoAlA钢经540℃*10小时+580℃*10小时离子渗氮后，表面不平度由原来的0.45~0.50微米增大到0.58~0.65微米。
由于离子氮化法利用了离子化了的气体溅射作用，因而与以往的氮化处理相比可显著的缩短处理时间（离子氮化的时间仅为普通气体渗氮时间的1/3~1/5）。
将渗氮作为最后一道工序的零件，表面最好进行一次抛光处理。去除由于打弧和阴极溅射凝附在零件表面的一些小颗粒，以防止渗氮件在与软接触面配合时造成不必要的擦伤。
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