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在热处理过程中，先进的技术工艺很重要，但是先进的基础设备设施更重要，所以，工作人员更应该注意平时在设备使用之后，每天给离子氮化炉进行日常保养工作。
1、炉体的检查和保养：先检查炉体密封是否良好，怎么判断炉体是否良好呢？平日里只需清理炉内粉末、杂物是平常一级保养。定时进行检修，更换损坏的零件。当然这属于二级保养，不需要频繁地进行的，比如一个月进行一次。
2、真空泵的检查和保养：检查真空泵装置油位是否正常，日常调整皮带松紧；检查各阀门是否是良好的。不定期的需要检查真空泵，更换磨损零件；检查调整真空计和阀。
3、氮气系统的检查和保养：日常需要清洗过滤器，更换硅胶。不定期地进行检查管路更换已损零件。